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簡要描述:芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
產(chǎn)品型號: VC-DJR-156
訪問次數(shù):957
更新時(shí)間:2023-11-20
芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套的前因:
由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體,這些氣體也會隨著工藝的過程,由真空泵從反應(yīng)腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設(shè)備尾氣進(jìn)行有效的處理,以減少對環(huán)境的污染。因此,在半導(dǎo)體制造機(jī)臺中,尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等,經(jīng)過在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶,因此尾氣處理過程中結(jié)晶體會附著在排氣管的管壁上,極易對排氣管進(jìn)行堵塞,同時(shí)造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD,同時(shí)提高生產(chǎn)成本。
需要加熱馬甲的部門:
DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
加熱馬甲作用:
通過升高管路工作溫度,減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產(chǎn)能。
加熱馬甲溫度要求:
PVD:150°、170°(也有180°)
ETCH:80°-120°
芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套
形結(jié)構(gòu)制作,包括法蘭,閥門,管路,泵體等,限度的減少暴露點(diǎn),維持可靠安全的溫度環(huán)境,防止沉積。
芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套整體為柔性耐腐蝕材質(zhì)制作,不燃、可在潔凈環(huán)境下使用,保溫隔熱層有效的組織了熱量的散失,功率密度分布均勻的加熱層和內(nèi)置溫度傳感器及溫度保險(xiǎn)裝置保證了加熱溫度的均勻性和可靠性。根據(jù)被加熱體的機(jī)
構(gòu)變化,由多個(gè)加熱套組成一個(gè)加熱系統(tǒng),整體對被加熱體進(jìn)行加熱保溫,系統(tǒng)內(nèi)的個(gè)體加熱套可以分別拆卸反復(fù)使用,大大降低了使用和維護(hù)成本,個(gè)體加熱套之前通過專用插頭連接,組成了一個(gè)高效的保溫加熱系統(tǒng)。
根據(jù)使用要求有多種方式可對加熱系統(tǒng)進(jìn)行溫度控制和安全監(jiān)護(hù),加熱系統(tǒng)中每一個(gè)個(gè)體加熱套可獨(dú)立外掛溫控模塊進(jìn)行控溫。